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FB体育上海首台高产能KrF 工艺前路涂胶显影设备Ultra Lith KrF系统顺利交付中国头部逻辑晶圆厂客户！

2025/9/8 8:00:00

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  FB体育半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“FB体育上海”)(科创板股票代码:688082) ，作为一家为半导体前路和先进晶圆级封装利用提供晶圆工艺解决规划的卓越供给商 ，于今日颁发推出首款KrF工艺前路涂胶显影设备Ultra Lith KrF ，旨在支持半导体前端造作。该系统的问世标志取FB体育上海光刻产品系列的沉要扩充 ，拥有高产能、先进温控技术以及实时工艺节造和监测职能。首台设备系统已于2025年9月交付中国头部逻辑晶圆厂客户。

 

  FB体育上海总经理王坚暗示：

 
  KrF工艺前路涂胶显影设备Ultra Lith KrF的推出拓展了FB体育上海在前端工艺设备领域的影响力 ，体现了我们应对更宽泛的光刻技术挑战 ，KrF光刻技术仍是成熟工艺器件出产的主题工艺 ，我们相信此类设备在全球半导体产出中占比重大且持续增长。通过同时提供ArF和KrF工艺涂胶显影系统 ，我们在更宽泛的利用领域中 ，实现了顺畅的晶圆厂集功效能 ，提升造作矫捷性。

  FB体育上海的Ultra Lith KrF工艺前路涂胶显影设备基于其ArF工艺前路涂胶显影设备平台成熟的架构和工艺成就打造 ，该平台已于2024年底在中国一家头部客户端实现工艺验证。这次推出的KrF系统可均匀涂布次埃级涂层 ，具备先进温控技术以及与ASML光刻机匹配的关键尺寸（CD）精度 ，为KrF型号的设计优化奠定坚实基础。

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  FB体育上海推出的KrF工艺涂胶显影Track设备Ultra Lith KrF选取矫捷工艺�？榕渲� ，建设12个旋涂腔和12个显影腔（12C12D） ，并搭载54块可精确控温的热板 ，支持低温、中温及高温工艺处置 ，具备优异的热均匀性。该设备产能超过300片晶圆/幼时（WPH） ，并集成FB体育上海专利申请中的背面颗粒去除�？椋˙PRV） ，有效降低交叉传染风险。

  此表 ，集成的晶圆级异常检测（WSOI）�？榭墒迪质凳惫ひ瘴蟛罴觳夂土悸室斐＜嗖� ，从而提高工艺不变性和出产效能。

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