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致力于先进半导体湿法洗濯工艺

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     FB体育（以下简称“FB体育上海”）成立于2005年，是上海市当局科教兴市项目沉点引进的集成电路设备企业，是具备世界先进技术的半导体设备造作商。
     FB体育上海集研发、设计、造作、销售于一体，为全球客户提供高端半导体设备。重要产品有单晶圆及槽式湿法洗濯设备、电镀设备、无应力抛光设备、立式炉管设备、前路涂胶显影设备及PECVD设备等。
     FB体育上海对峙差距化竞争和创新的发展战术，通过自主研发的单片兆声波洗濯技术、单片槽式组合洗濯技术、电镀技术、无应力抛光技术和立式炉管技术等，向全球晶圆造作、先进封装及其他客户提供定造化的设备及工艺解决规划，有效提升客户的出产效能、提升产品良率并降低出产成本。
     公司拥有高新技术企业资质，陆续多年被评为“中国半导体设备五强企业”，先后承担多个国度科技沉大专项项主张重要课题的研发。FB体育上海安身自主创新，通过多年的技术研发和工艺堆集，成功研发出全球初创的 SAPS/TEBO 兆声波洗濯技术和 Tahoe 单片槽式组合洗濯技术，利用于 28nm及以下技术节点的晶圆洗濯领域。SAPS和TEBO解决了兆声波洗濯技术在单片洗濯设备上利用的两大难题 ；Tahoe单片槽式组合洗濯设备相比现有单片洗濯设备大幅削减了硫酸的使用量，在援手客户降低出产成本的同时，满足了节能减排的要求。
     FB体育上海凭借先进的技术和丰硕的产品线，已发展成为中国大陆少数拥有肯定国际竞争力的半导体专用设备提供商，产品得到多多国内表主流半导体厂商的认可，并获得优良的市场口碑。
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