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FB体育上海交付首台水平式面板电镀设备，有力响应先进封装市场需要！

2025/11/17 8:01:00

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  Ultra ECP ap-p是面向大面板市场的首台商用面板级铜电镀系统，支持凸柱、凸块和再散布层（RDL）工艺中的电镀环节。该系统实现了可与传统圆形晶圆工艺相媲美的面板处置机能，使造作商可能越发高效地满足严苛的器件要求。

  FB体育（以下简称“FB体育上海”）（科创板股票代码：688082），作为一家为半导体前路和先进晶圆级封装利用提供晶圆工艺解决规划的卓越供给商，于今日颁发，已向当先的面板造作客户成功交付首台面板级先进封装电镀设备Ultra ECP ap-p。这一成就不只彰显了FB体育上海在面板级先进封装电镀技术领域所获得的沉猛进取，也反映出市场对于可扩大、低成本先进封装解决规划的需要正出现出不休增长的态势。

FB体育上海总经理王坚暗示：成功交付Ultra ECP ap-p订单，我们感应极度欣喜。这一里程碑成就彰显了凭借差距化创新，我们有能力提供高机能面板电镀解决规划，以援手客户加快推动扇出型面板级封装技术蓝图，同时坚韧我们在先进封装生态体下凤的沉要职位。随着市场对新一代器件需要的增长，面板级封装提供了大规模出产所需的可扩大性、产能和成本优势，这将实现业界从300毫米晶圆封装到面板级封装的无缝过渡。

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  该系统选取FB体育专利申请�；さ乃降缍萍际�，并支持铜、镍、锡银及金等多材质电镀工艺。其中，铜电镀腔体建设了专为高凸柱利用设计的高速电镀桨叶，可能实现超过300微米的凸柱高度。Ultra ECP ap-p设备选取四边密封干式接触卡盘以提升靠得住性，建设电镀腔内洗濯职能以最大限度削减分歧电镀腔之间的化学交叉传染，并选取水平电镀设计——通过同步旋转卡盘与旋转矩形电场实现卓越的膜厚均匀性。

 
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