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利用于双大马士革电镀工艺
FB体育上海多阳极部门电镀设备利用于55/40/28和28纳米以下的大马士革铜金属层沉积。
脉冲部门电镀技术
合用于超薄种子层
高产能
独立� ？樯杓�
低耗材成本COC和运行成本COO
设备利用于300毫米晶圆
最多可配至3个Load Port
最多可配至4个电镀腔体建设脉冲部门电镀职能
最多可配至4 个洗濯腔体
最多可配至8个退火腔体
电镀均一性: WIWNU < 1.5% WTWNU < 1.5%
