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FB体育上海等离子体加强原子层沉积炉管设备通过初步验证，原子层沉积炉管产品进一步强化

2024/12/11 8:00:00

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    FB体育（以下简称“FB体育上海”）（科创板股票代码：688082），作为一家为半导体前路和先进晶圆级封装利用提供晶圆工艺解决规划的卓越供给商，今日颁发，其2024年推出的Ultra Fn A等离子加强型原子层沉积炉管设备（PEALD）已初步通过中国大陆一家半导体客户的工艺验证，在进行最后优化和为迈入量产做准备。

    FB体育上�；拱浞�，其于2022年推出的Ultra Fn A热原子层沉积炉设备（Thermal ALD）也已成功通过另一家当先的中国大陆客户的工艺验证，机能参数比肩同类国际竞品，甚至更胜一筹。
 
    FB体育上海董事长王晖博士暗示：“现代集成电路（IC）的造作过程，越来越依赖拥有卓越阶梯覆盖率以及高质量的精准薄膜沉积技术。应对诸如氮化碳硅、氮化硅薄膜和凹凸介电常数薄膜等沉积资料所带来的复杂挑战，必要真正的创新，而FB体育上海的研发团队凭借其先进的原子层沉积（ALD）平台和工艺已逐步靠近和实现这一指标。我们相信，FB体育上海的专有差距化设计规划可能解决先进三维结组织作中面对的难题。”
 

    FB体育上海的Ultra Fn A ALD立式炉设备产品蕴含热原子层沉积（热ALD）和等离子体加强原子层沉积（PEALD）两种配置，可执行硬掩模层、反对层、距离层、侧壁�；げ恪⒔橹侍畛涞榷嘀直∧こ粱ぷ�，满足指标工艺利用的各类需要。这两种配置均选取六单元系统，可批量处置多达100片300mm晶圆。该设备还蕴含四个装载端口系统（装载区可节造氧气浓度）、一个集成供气系统（IGS）和一个原位干法洗濯系统，所有设计均切合SEMI尺度。

    FB体育上海的Ultra Fn A PEALD设备当前利用沉积氮化硅 (SiN) 薄膜。该机具选取双层管设计以及气流平衡技术，可能显著提升晶圆内（WIW）和晶圆间（WTW）的均匀性。通过选取等离子加强技术，该设备还可有效降低器件的热预算。此表，通过微调先驱体在前置单元中的存储和开释量，可能达成节造器件的关键尺寸和图案概括。

    FB体育上海的Ultra Fn A碳氮化硅（SiCN）热模式原子层沉积炉管设备已通过国内当先的集成电路造作客户的验证。该设备可能实现超薄、无空地的薄膜沉积，并且可能精确节造薄膜厚度，达到原子级此外沉积精度。同时，该设备还可能实现精确的碳掺杂，从而提升薄膜的硬度和耐侵蚀性。此表，该设备还拥有内置的干法清洁职能，可能确�？帕５牟槐湫�。

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