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FB体育上�；竦门分抟患胰蛐园氲继逶熳魃痰牡テ琒APS兆声波洗濯设备采购订单

2023/2/25 11:10:00

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    FB体育(以下简称“FB体育上海”)（科创板股票代码：688082），作为一家为半导体前路和先进晶圆级封装利用提供晶圆工艺解决规划的卓越设备供给商，今日颁发获得来自欧洲一家全球性半导体造作商的首个12腔单片SAPS 兆声波洗濯设备订单。该设备配置了公司自主研发的半导体衬底的洗濯步骤和装置(中国发现专利;专利号:ZL 2009 1 0050834.2)，预计将于2023年第四时度交付至该客户的欧洲工厂。

    FB体育上海董事长王晖博士暗示：“FB体育上海在成为全球重要半导体出产企业供给商的路路上获得了进一步进展，对此我们倍感高慢。随着我们在中国大陆的业务规模逐步扩大，美国重要造作商的评估也在同时进行，SAPS技术也已起头在欧洲市场赢得吸引力。本次获得该设备的欧洲首单是对我们技术实力以及销售团队致力与支出的有力证明。我们相信，本次成功将为我们带来该客户的沉复订单，以及与该地域其他沉点客户新的合作机遇。”

关于单片SAPS 兆声波洗濯设备

    FB体育上海占有自主知识产权的空间交变相位移 (SAPS)先进晶圆洗濯技术使用了兆声波的交替相位变动以节造兆声波产生器与晶圆之间的间距。与传统的兆声波晶圆洗濯系统中使用的固定式兆声波产生器分歧，使用SAPS技术后，晶圆旋转时，通过节造兆声波产生器与晶圆之间的相对活动，即便晶圆有翘曲，也能使晶圆上的所有点都获得均匀的兆声波能量。SAPS工艺的洗濯效能比传统兆声波洗濯工艺高，不会造成额表的资料损耗，同时还能削减晶圆表表的危险。SAPS工艺洗濯成效越发彻底、全面，并且已在1xnm 及以下DRAM造作上获得验证。
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