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FB体育上海首台前路ArF工艺涂胶显影设备Ultra LITH顺利出机

2022/12/29 9:45:41

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    近日FB体育上海（科创板股票代码：688082）首台拥有自主知识产权的涂胶显影Track设备Ultra LITH成功出机，顺利向中国国内客户交付公司首台前路ArF工艺涂胶显影Track设备，该设备由FB体育半导体设备(亚太)造作中心实现出货，这是该公司提升其在涂胶和显影领域内专业技术的沉要一步 。

    此表，FB体育上海将于2023年推出i-line型号设备，并且公司已起头着手研发KrF型号设备 。前路涂胶显影Track设备Ultra LITH的出货是FB体育上海持续拓展产品系列的又一成就，公司致力于成为晶圆级的工艺解决规划平台，旗下产品还蕴含单晶圆及槽式湿法洗濯设备、电镀设备、无应力抛光设备、立式炉管设备，及PECVD设备 。
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