庆祝FB体育上海ECP设备500电镀腔顺利交付！
2022/8/23 16:26:19
8月22日 ，FB体育（以下简称“FB体育上海” ，股票代码：688082）的电化学电镀（ECP）设备系列第500个电镀腔出机 ，顺利交付客户。这是FB体育发展史上的一个极度沉要的里程碑 ，标志取FB体育上海向新征程迈出关键一步。
王坚总经理在庆祝典礼上颁发致辞 ，他暗示随着IC电路技术节点缩幼和先进封装集成度提高 ，电镀技术被宽泛选取 ，蕴含铜、钴、镍、锡银、金等金属电镀利用。目前全球超90%的电镀设备市场被国际大公司占据。FB体育自1998年成立之初就聚焦铜互连技术 ，同时布局专利成就 ，是世界上早期进入水平电镀领域并自主把握电镀主题技术的三家公司之一。FB体育自创的结构设计与电镀技术不仅占有全球专利� ；� ，且可能充分达到客户产品规格需要并具备成本优势。
“在科技部02沉大专项支持下 ，经过产学研合作研发 ，以及客户端量产验证。如今 ，FB体育公司的电镀技术已在前路双大马士革和先进封装、3D TSV 以及第三代半导体利用领域别离实现了质的飞跃。无论是多圆环阳极技术 ，以及第二阳极技术 ，还是高速电镀技术 ，都在客户端产线阐发出相比竞争敌手更佳的机能。目前 ，FB体育产品订单已经达到67台 ，销售总额超过12亿 ，截至今日已累计出机电镀腔500个腔体。”
据王坚总经理介绍 ，FB体育上海的电镀技术已通过了半导体大厂的出产线工艺评估 ，利用于55nm至28nm、TSV、高密度扇出封装、通例Pillar、RDL产品出产线 ，均得到了客户的高度评价。截止至2021年12月 ，FB体育电镀设备销售额占全球集成电路电镀市场4%。此表 ，2022年公司前路铜互连电镀设备和华力微电子结合申报 ，获得中国集成电路创新联牛耳办的“集成电路产业技术创新奖”的成就产业化奖。
Ultra ECP map前路铜互连电镀设备
成立在公司成熟的电化学电镀（ECP）技术基础之上 ，专为双大马士革利用而设计 ，可提高产能和靠得住性。ECP电镀系统配置了FB体育上海自主研发的多阳极部门电镀职能 ，让客户可对大马士革结构上的金属铜沉积层进行有效节造。该设备的关键工艺利益蕴含优异的图形结构填充能力、优良的片内及片间金属膜厚均匀性 ，可能兼容5nm以下的超薄籽晶层 ，满足最先进技术节点的大马士革电镀的需要 ，同时降低耗材及占有成本 ，确保高产能和正常运行功夫。
Ultra ECP ap电镀设备
该设备可执行很多关键的WLP电镀工艺 ，蕴含铜凸块和高密度扇出（HDFO）工艺。该系统借助专门设计的工艺腔及流体供给系统 ，可维持壮大不变的流量输出 ，实现急剧均匀的电镀。单晶圆水平式电镀设计也排除了垂直式电镀设计存在的分歧镀液槽之间的交叉传染问题。该设备在铜、镍、锡、银和金电镀过程中占有杰出阐发。
Ultra ECP 3D电镀设备
该设备可利用于填充3D硅通孔（TSV） ，借助FB体育半导体电镀设备的平台 ，可为深邃宽比（H.A.R）TSV铜利用提供高机能、无孔洞的镀铜职能。在深邃宽比硅通孔由下而上的填充过程中 ，铜电解液浸入电镀液的时辰 ，必须齐全填充通孔 ，不能滞留任何气泡。为了加快这一过程 ，我们选取了一体化预湿步骤。这种先进的技术解决规划能够在造作工艺中保障更高的效益、电镀效能和产能。
Ultra ECP GIII电镀设备
该设备可支持化合物半导体(SiC, GaN)和砷化镓(GaAs) 晶圆级封装 ，进行铜、镍、锡银、金电镀。该系列设备还能将金（Au）镀到背面深孔工艺中 ，拥有更好的均匀性和台阶覆盖率。Ultra ECP GIII还建设了全自动平台 ，支持6英寸/8英寸平边和V型槽晶圆的批量工艺 ，同时结合了FB体育半导体的第二阳极和高速栅板技术 ，可实现更佳机能
FB体育上海作为洗濯设备供给商 ，多维度布局半导体设备领域 ，在半导体洗濯设备、前路半导体电镀设备和先进封装湿法设备（蕴含后路电镀设备）的交易收入均有较大增长。半导体设备市场规模仍在扩大 ，FB体育上� ；菇松习氲继迳璞覆祷亩� ，对峙技术差距化、产品平台化、客户全球化的主题理想 ，尊沉同业IP及� ；ぷ约篒P ，面向全球半导体芯片出产线 ，推动上海研发、上海原始创新、上海造作走向世界！
