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FB体育上海18腔300mm Ultra C VI单晶圆洗濯设备投入量产

2022/4/22 10:39:37

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     FB体育(以下简称“FB体育上海”)（科创板股票代码：688082）  ，作为一家为半导体前路和先进晶圆级封装（WLP）利用提供晶圆工艺解决规划的卓越设备供给商  ，今天颁发  ，其18腔300mm Ultra C VI单晶圆洗濯设备已成功投入量产 。该设备于2020年第二季度初次推出  ，目前已在中国一家主流存储芯片造作商的出产线上获得验证并进入量产 。

    据FB体育上海董事长王晖博士介绍：“随着技术节点逐步缩幼  ，芯片复杂性不休增长  ，湿法洗濯工艺所需的步骤也在增长 。当前对于半导体芯片的需要空前巨大  ，相应的产能需要也随之提高  ，而FB体育18腔设备刚好可能满足这一需要的增长 。选取Ultra C VI设备进行量产  ，在设备尺寸一样的情况下可提升50%的产能  ，以更好地满足客户需要 。”
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FB体育上海18腔设备300mm Ultra C VI设备简介

    18腔300mm Ultra C VI设备可用于聚合物去除、钨或铜工艺的洗濯、沉积前洗濯、蚀刻后和化学机械抛光（CMP）后洗濯、深沟槽洗濯、RCA尺度洗濯等多个前路和后路工艺 。该设备建设了由多个机械臂组成的高效硅片传输系统  ，最大产能超过800片/幼时 。对比FB体育上海现有的12腔Ultra C V设备  ，其腔体数及产能增长了50%  ，而其设备宽度不变只是在长度上有少量增长 。
 
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