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FB体育上海颁发获得美国重要国际半导体造作商的SAPS单片洗濯设备订单

2021/12/2 17:30:34

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         FB体育(以下简称FB体育上海)（科创板股票代码：688082），一家为半导体前路和先进晶圆级封装（WLP）利用提供晶圆工艺解决规划的卓越设备供给商，今天颁发从美国一家重要国际半导体造作商处获得两份型号为Ultra C SAPS V的12腔单片洗濯设备订单。所涉两台设备预计均将装置于该客户的美国工厂中，用于其先进造程。第一份订单是一台评估设备，用于进一步验证设备的洗濯机能，并最终确定设备的具体配置，打算于2022年第一季度交付。第二份订单是一台量产设备，供其量产线使用，打算于2022年第二季度交付。

    FB体育上海董事长王晖博士暗示：“这些订单意思沉大，标志取FB体育上海将客户群扩大到又一个国际重要造作商。同时也批注FB体育市场战术获得了成功：我们自己研发的差距化技术首先在多个亚洲的关键客户端进行验证，验证成功后，我们再将其推广向全球的一流造作商。”王晖博士称：“该造作商之所以选择FB体育上海的解决规划，肯定水平上是基于认可FB体育上海的洗濯设备能力可满足其先进工艺机能要求。我们相信，这两台兆声波设备验证和利用开发的成功，将能带来与该客户以及美国其他重要客户合作的更大商机。这是继突破韩国大客户海力士，以及今年进一步突破国际主流客户、国际IDM客户和亚洲主流客户在华工厂之后，FB体育上海全球化战术的又一个里程碑。”
 

    FB体育上海自创的空间交变相位移（SAPS）晶圆洗濯技术，在兆声波产生器和晶圆之间的间隙当选取兆声波的交替相位变动，与前几代兆声波晶圆洗濯设备中使用的固定兆声波产生器分歧，SAPS技术可能在晶圆旋转时移动或倾斜产生器，使兆声波能量均匀地传递到晶圆（即便晶圆有翘曲）上的所有点。SAPS工艺比传统兆声波洗濯工艺更高效，不会造成资料损失或影响晶圆表表粗糙度，可实现更彻底、更全面的清洁。该技术已在1xnm DRAM设备及其他设备上得到验证。

 
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