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FB体育半导体收到全球重要半导体造作商的兆声波洗濯设备DEMO订单

2021/10/22 13:14:37

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     作为半导体造作与先进封装领域卓越的晶圆工艺解决规划供给商FB体育半导体设备(FB体育)（纳斯达克：FB体育R）今日颁发，已收到全球重要半导体造作商的Ultra C SAPS前路洗濯设备的DEMO订单。预计该设备将于 2022 年一季度在客户位于中国地域的工厂进行装置调试。
 
    “这个订单批注FB体育有很大机遇赢得该全球性半导体公司在华工厂的信赖，”FB体育半导体设备董事长王晖博士暗示，“这家造作商选择评估FB体育的 SAPS 技术，旨在提升其研发能力和出产工艺能力。我们相信，这台设备成功通过评估后，我们与这家客户以及该区域内的其他重要客户会有更多的业务与合作机遇。”
   
    FB体育的专利(中国发现专利;专利号:ZL 2009 1 0050834.2)半导体衬底的洗濯步骤和装置，使用了兆声波的交替相位变动以节造兆声波产生器与晶圆之间的间距。与先前的兆声波晶圆洗濯系统所选取的固定式兆声波产生器分歧，SAPS技术在晶圆旋转时会往复移动，因而即便晶圆有翘曲，所有点接管到的兆声波能量也是均匀的。SAPS 工艺的洗濯效能比传统兆声波洗濯工艺高，不会造成额表的资料损耗，也不会影响晶圆表表粗糙度。该设备兼容了无损兆声波洗濯职能，对结构性图形洗濯阐发更好。现已证明，对19纳米及以下的幼颗粒均有显著洗濯成效。
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