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FB体育半导体首台12寸单晶圆薄片洗濯设备提前获得验收！

2021/1/13 10:38:43

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    2021年1月8日，FB体育半导体首台利用于大功率半导体器件造作的新款12寸单晶圆薄片洗濯设备已通过乐山士兰集科量产要求，提前验收！该设备于2020年5月20日作为首批设备之一搬入工厂，从正式装机到利用于产品片出产，只用了18天的功夫，原定一年的验证期仅用了6个月即顺利实现验收！

 

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设备搬入乐山士兰集科
 

    FB体育新款12寸单晶圆薄片洗濯设备，是一款高产能的四腔体系统，用于超薄片的硅减薄湿法蚀刻工艺，以解除晶圆应力、并进行表表洗濯等。该系统的传输及工艺�？槲」杵陌崴图肮ひ沾χ锰峁┝擞行У慕饩龉婊�，基于伯努利效应，该系统在传输与工艺中，与晶圆表表齐全无接触，解除由接触带来的机械危险，提高器件的良率。通过分歧的设定，该系统可合用于Taiko片、超薄片、键合片、深沟槽片等分歧厚度的晶圆 ；通过选取分歧的化学药液组合，该系统可拓展利用于洗濯、光刻胶去除、薄膜去除和金属蚀刻等工艺。

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FB体育12寸单晶圆薄片洗濯设备
 

    FB体育半导体12寸单晶圆薄片洗濯设备的急剧投入量产使用并提前成功验收是FB体育与国内量产客户团队的缜密合作成就。在本次验收过程中，国内量产客户团队对该设备赐与了大力支持和援手，通过双方的共同致力，最终设备的靠得住性、不变性及工艺能力在短功夫内达到验收尺度。作为FB体育半导体2020年推出的沉要新产品之一，该设备的顺利验收不仅为两个团队堆集了贵重经验，也对推动该设备在功率器件新兴市场的推广拥有沉要意思，更为今后FB体育洗濯设备技术提升、业务拓展提供坚实保障。

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